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生產(chǎn)型GaNMOCVD設(shè)備控制系統(tǒng)軟件設(shè)計(jì)

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  • 文件類型：PDF文檔
  • 文件大�。�1.1M
  • 更新日期：2014-07-15 11:34
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詳細(xì)介紹
對(duì)“用于GaN的生產(chǎn)型MOCVD”設(shè)備控制系統(tǒng)的軟/硬件結(jié)構(gòu)、關(guān)鍵技術(shù)進(jìn)行了描述,介紹了國(guó)外幾種生產(chǎn)型GaNMOCVD設(shè)備控制系統(tǒng)的特點(diǎn);分析了MOCVD設(shè)備控制技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)。
 
 
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