2月3日消息,近日,以麻省理工學(xué)院為首的研究團隊在《自然》(nature)雜志上宣布,團隊開發(fā)出全彩垂直堆疊結(jié)構(gòu)Micro LED,陣列密度高達5100 PPI,尺寸僅為4μm,號稱是目前所知擁有最高陣列密度和最小尺寸的Micro LED。
圖片來源:nature雜志
據(jù)介紹,為了實現(xiàn)高分辨率和微小尺寸的Micro LED,研究人員采用了基于二維材料的層轉(zhuǎn)移(2D materials based layer transfer (2DLT))技術(shù)。
該技術(shù)允許通過遠程外延(remote epitaxy)或范德華(van der Waals epitaxy)外延生長、機械釋放和堆疊LED等制作工序,在二維材料涂層襯底上生長近亞微米厚度的RGB LED。
研究人員特別指出,僅有9μm的堆疊結(jié)構(gòu)高度是打造高陣列密度Micro LED的關(guān)鍵。
研究團隊還在論文中展示了藍光Micro LED與硅膜晶體管的垂直集成,適配于AM主動矩陣式驅(qū)動應(yīng)用。研究團隊表示,本次研究為制造AR/VR用全彩Micro LED顯示器提供了新路線,同時也為更廣泛的三維集成設(shè)備提供了通用平臺。(LEDinside Irving編譯)
論文鏈接:https://www.nature.com/articles/s41586-022-05612-1